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直拉炉在生产单晶棒时最佳炉内压力应保持14mTorr。()

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第1题
直拉单晶炉的热系统是指为了熔化硅料,并保持在一定温度下进行单晶生长的整个系统,它包括()、保
直拉单晶炉的热系统是指为了熔化硅料,并保持在一定温度下进行单晶生长的整个系统,它包括()、保

温罩、()、电极等主要部件。影响热场温度梯度的因素有()、保温层、加热器和托碗厚度、()、()、()和热屏位置等。

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第2题
干熄炉挡料棒的功能是使干熄炉内的焦炭均匀下降。()
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第3题
冶金炉窑生产过程中,一般对炉内气体压力不做要求。()
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第4题
为了防止固化炉内有害废气散溢出炉外空间,固化炉内必须保持微负压。()
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第5题
还原退火炉应控制炉温,炉压及炉内气氛。()
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第6题
干熄炉冷却室T4≤450℃;T3≤350℃,干熄炉冷却段圆周各点温度差距应≤50℃,否则应及时调整干熄炉底部挡料棒,插入深度应不影响正常排焦。()
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第7题
一块漏水冷却壁,在同一供水压力下,减风时和全风时相比,漏入炉内水量相同。()
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第8题
保持铁口能与炉缸上部贯通,是中修与闷炉(封炉)开炉时对炉前操作要求之一。()
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第9题
多管炉、鞍式炉、回转炉各适用于什么场合?各种炉在正常操作时炉内为正压还是负压?压力为什么不能过大或过小?炉内物料与活化剂的相对流向如何?炉内物料的受热方式?正常操作时是否需外加热量?为什么?多管炉、鞍式炉在生产中对原料有哪些要求?
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第10题
在竖炉生产中,燃烧室压力升高,说明炉粒柱透气性变坏。()
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第11题
调峰和临时停炉时,各振打和加热装置应保持运行。()
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